聚焦离子束（FIB）

聚焦离子束 (FIB) 技术以其纳米级精度进行材料刻蚀、沉积与成像，是先进样品制备（如TEM薄片）和微纳加工的核心工具。本文介绍FIB原理、核心优势、关键应用模式与技术特点（含缩写），揭示其在失效分析、材料表征和半导体工艺中的重要作用。

2025-03-14 失效分析